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Sensofer

正確且つ適正な測定はできていますか?

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既に市販されている三次元形状測定装置(共焦点顕微鏡や干渉計を含む)は数多くあります。そして殆どの企業が既に何らかの形状測定を所有しているのが現状です。

そしてその企業で測定すべき試料が発生した場合、その限られた設備を使って測定しています。

しかし、技術レベルが向上してきた昨今では、正確且つ適正な測定が実現できているとは限らないのが実情です。

何故なら、厳しい測定精度を求められる上では、試料に適した計測機器を使用しなければならず、三次元形状測定装置であれば、どのような装置でも同じ結果が得られる訳ではないからです。

PLu2300システムの5つの特徴

【1:共焦点モードと干渉モード:2つの機能が一台で!】

sensofer_2PLu2300システムは、1台で形状測定に威力を発揮する共焦点顕微鏡と、高精度に粗さ測定が可能な干渉計の機能を併せ持つ最新鋭の三次元形状測定顕微鏡です。

切り替え操作も対物レンズを切り替えるだけで、ソフトウエアが自動的に各モードに対応した測定を行います。

【2:高い測定感度:最小0.1nmの繰返し精度】

sensofer_3(ハードディスク表面:Ra=7nm)
特殊光学系と独自の検出アルゴリズムで、ウエハーやハードディスクのような研磨された粗さ測定でも、卓越したスピードで高精度な測定が行えます。

【3:高傾斜面の測定能力UP:最大71°までの急傾斜面の測定が可能】

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マイクロレンズやプリズムのような曲面や傾斜面を持った測定物でも測定が行え、高い測定感度特性により傾斜面の面粗さまで観察することができます。

【4:拡大測定:mmオーダーの視野まで拡大可能】

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対物レンズにより、測定視野や精度を最適な条件を選択でき、更に視野を拡大させたい場合は、貼り合わせ機能により、複数の画像を連結させて1つの測定データとして観察することができます。

【5:コンパクトな測定ヘッド:検査工程での応用が容易】

独創的な光学系により測定ヘッドの小型化を実現しています。加工機への搭載や検査工程の設備への組込など、研究開発のみならず製造に直結した工程でもご利用いただけます。

仕様

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最良なソリューション

当社では測定に関して過去のノウハウを生かしながら、お客様の希望内容をインタビューし、その結果として最良なソリューションを提案します。その際お客様が高額な設備の導入により、より高い設備投資効果が得られるように、その結果=当社製品となるに関わらず、最適な手段とその導入のお手伝いをさせていただきます。